FIB 液态金属离子源（LMIS）说明

Thermo Fisher（原FEI）Scios 2、Helios 5 UX 等双束电镜（DualBeam SEM-FIB）配备 镓液态金属离子源（Gallium Liquid Metal Ion Source, LMIS）。离子源由钨针（Tungsten Needle）、镓储池（Ga Reservoir）、引出电极（Extractor）构成，加 30kV 高压引出 Ga⁺ 离子束。离子源是 FIB 最核心的贵重消耗部件，正常寿命约 500–1000 小时（视束流与使用强度），更换成本高，属大额配件。

适用配件（中英文对照）：液态金属离子源 LMIS（Ga）/ 钨针 Tungsten Needle / 引出电极 Extractor / 抑制电极 Suppressor / 离子源加热器 LMIS Heater / 离子源更换套件 LMIS Replacement Kit。零件编码以机器序列号对应原厂备件手册为准，我司可凭序列号核对。

症状一：离子束无束流（No Ion Beam）

故障表现：FIB 界面无束流读数、无法成像，点击加束后立即报错。

排查流程：① 检查离子束真空（Ion Column Vacuum）；② 检查离子源温度与引出电压；③ 检查离子源是否耗尽（Emission 归零）；④ 检查束流校准。

处理：离子源耗尽需更换 LMIS，更换后需做离子源对中与束流校准（耗时约半天）。

症状二：束流衰减（Ion Beam Current Decay）

故障表现：离子束流逐步下降、加工（Milling）速度变慢、成像亮度不足。

排查流程：① 查看离子源累计使用小时数；② 检查镓储池剩余量；③ 检查钨针尖端状态（钝化或污染）。

处理：接近寿命末期，需更换离子源。

症状三：离子源寿命到限（Source End-of-Life）

故障表现：软件提示 LMIS Life 剩余为 0、Flashing/清洗无法恢复发射、束流抖动。

排查流程：① 确认使用时间与提示；② 检查加热电流是否达到上限；③ 排除真空与高压因素。

处理：更换 LMIS 离子源，属高价值精密操作，建议专业工程师执行。

症状四：束斑畸变/像散异常（Beam Distortion / Astigmatism）

故障表现：离子图像变形、光斑不对称、消像散无法校正。

排查流程：① 检查离子光学系统对中；② 检查引出电极污染；③ 检查钨针尖端是否异常。

处理：清洁电极、重新对中，无效则更换离子源。

旧件回收

东莞九安仪器（JAXLAB）长期高价回收 FIB 液态金属离子源（LMIS）、镓储池组件及 FIB 配套贵重部件，报废件、寿命到限件均可回收，正规估价。回收流程：微信发送铭牌照片与使用记录 → 快速估价 → 物流回收。详情请加微信：13926808972。

公司落款

东莞九安仪器（JAXLAB）专业提供双束电镜 FIB 离子源更换、离子柱维修与旧件回收服务，适用于 Thermo Scios、Helios 全系列，正规注册企业，可开具增值税专用发票，原装正品保障。故障诊断/回收估价请加微信：13926808972，提供机器序列号即可快速响应。