Tescan MIRA 4 高压单元说明

Tescan MIRA 4 是泰思肯（Tescan）高分辨率场发射扫描电镜，高压单元（HV Unit / High Voltage Supply）提供 200V–30kV 加速电压与引出/抑制电压，是整机关键大额部件。高压单元由高压电源模块、高压电缆（HV Cable）、高压接头（HV Connector）组成，工作于高电位，绝缘要求极高。

适用配件（中英文对照）：高压电源模块 HV Power Supply Module / 高压电缆 HV Cable / 高压接头 HV Connector / 高压分压电阻 HV Divider Resistor / 高压滤波电容 HV Filter Capacitor / 绝缘套管 Insulating Bushing。零件编码以原厂备件手册为准。

症状一：无法加高压（HV Cannot Be Applied）

故障表现：点击加高压后立即掉高压、软件报 HV Fault，无法成像。

排查流程：① 检查高压单元输入供电；② 检查镜筒真空是否达到加高压条件；③ 检查高压电缆与接头绝缘；④ 检查高压模块故障代码。

处理：绝缘问题可修复，高压模块损坏需更换。

症状二：高压打火（HV Arcing / Sparking）

故障表现：加高压时听到打火声、图像闪烁、报 Arc Detected，严重时损伤电路。

排查流程：① 检查高压电缆绝缘层是否老化破损；② 检查接头污染或放电间隙；③ 检查镜筒内污染导致的放电；④ 检查湿度（潮湿环境加剧打火）。

处理：更换破损电缆、清洁接头，控制环境湿度。

症状三：束流不稳（Beam Current Instability）

故障表现：束流读数波动、图像亮度漂移、定量分析重复性差。

排查流程：① 检查高压稳定性；② 检查引出电压波动；③ 检查束流校准（Beam Current Calibration）。

处理：高压模块纹波超标需维修或更换。

症状四：高压电缆故障（HV Cable Fault）

故障表现：局部放电、绝缘电阻下降、电缆发热、接头处烧蚀。

排查流程：① 目视检查电缆与接头；② 用绝缘电阻表测量；③ 检查电缆弯曲处是否损伤。

处理：更换高压电缆组件，注意选用原规格耐压等级。

公司落款

东莞九安仪器（JAXLAB）专业提供 Tescan 泰思肯扫描电镜高压系统维修服务，适用于 MIRA、VEGA、MAIA 系列，正规注册企业，可开具增值税专用发票，原装正品保障。故障诊断请加微信：13926808972，提供故障代码即可快速定位。