Zeiss EVO 灯丝说明

Zeiss EVO 10/15/18 钨灯丝扫描电镜（Tungsten Filament SEM）使用 V型钨灯丝（Tungsten Hairpin Filament），可选配 LaB6 六硼化镧灯丝（Lanthanum Hexaboride Filament） 提升亮度和寿命。钨灯丝寿命约 40–100 小时，LaB6 寿命约 500–1000 小时。灯丝属常规消耗品，价格相对低，但更换操作涉及真空与高压安全，需规范执行。

适用配件（中英文对照）：钨灯丝 Tungsten Filament（V型 Hairpin Type）/ LaB6 灯丝 LaB6 Filament / 灯丝座 Filament Holder / 栅极帽 Wehnelt Cap / 阳极 Anode / 灯丝密封圈 Filament O-ring。Zeiss EVO 灯丝零件号（如原厂 P/N）以机器铭牌对应备件手册为准，我司常备现货可快速供货。

症状一：无束流（No Beam / No Emission）

故障表现：屏幕上无图像、Emission 为 0、软件报 Filament Error。

排查流程：① 检查灯丝加热电流是否正常；② 检查灯丝是否断裂（目视或电阻测量）；③ 检查灯丝座接触是否良好；④ 检查高压是否正常送出。

处理：灯丝断裂需更换新灯丝，同时检查灯丝座与栅极帽清洁度。

症状二：亮度衰减（Brightness Decay）

故障表现：图像变暗、亮度旋钮已到最大仍不足，束流显示偏低。

排查流程：① 查看灯丝累计使用时间；② 检查栅极帽与阳极污染；③ 检查灯丝对中（Filament Centering）。

处理：接近寿命末期直接更换；先做对中与栅极帽清洁可延长使用。

症状三：灯丝断裂/熔断（Filament Burnout）

故障表现：突然无束流，检查发现灯丝熔断，常有烧黑痕迹。

排查流程：① 检查真空度（高真空不足会加速烧断）；② 检查灯丝加热电流设置是否过大；③ 检查样品室是否有挥发性污染。

处理：更换灯丝并检修真空，避免反复烧断。

症状四：真空报警（Vacuum Alarm）

故障表现：更换灯丝后抽真空失败、镜筒真空达不到工作值、报 Column Vacuum Error。

排查流程：① 检查灯丝密封圈是否安装到位；② 检查枪室门密封；③ 检查分子泵与离子泵状态。

处理：重新安装密封圈，必要时更换密封件；真空泵故障需专业维修。

公司落款

东莞九安仪器（JAXLAB）常备 Zeiss EVO 系列钨灯丝、LaB6 灯丝及密封圈现货，正规注册企业，可开具增值税专用发票，原装正品保障。灯丝规格确认与更换指导请加微信：13926808972，提供机器型号即可快速匹配。