
扫描电镜通常配备 样品室观察相机(Chamber Camera) 与 真空视窗相机,用于样品装入时低倍观察与实时监控。早期为 CCD,现代多为高灵敏度 CMOS 相机,含镜头、传感器、信号板、照明 LED。相机虽单件价格不高,但成像系统整体更换或传感器损坏仍需专业处理。
适用配件(中英文对照):CCD/CMOS 相机 Camera Assembly / 图像传感器 Image Sensor(CCD/CMOS)/ 镜头 Lens / 信号处理板 Signal Board / 照明 LED 组件 LED Illumination / 视窗玻璃 Viewport Glass。零件编码以原厂备件手册为准。
故障表现:相机画面全黑或全灰、软件报 Camera Error。
排查流程:① 检查相机供电与 USB/网线连接;② 检查软件驱动;③ 检查照明 LED;④ 检查视窗是否遮挡。
处理:供电与驱动正常仍无图,更换相机。
故障表现:画面有固定亮点/暗点、横向条纹、颜色异常。
排查流程:① 做暗场测试排除外部光源;② 检查传感器是否老化/损伤;③ 检查信号线屏蔽。
处理:传感器损伤需更换相机。
故障表现:画面持续模糊、对焦无法改善、视窗起雾。
排查流程:① 检查镜头清洁;② 检查视窗玻璃是否污染/起雾;③ 检查对焦机构。
处理:清洁镜头与视窗,视窗损坏更换视窗玻璃。
故障表现:相机发热严重、画面卡死、频繁掉线。
排查流程:① 检查散热风扇;② 检查供电稳定性;③ 检查环境温度。
处理:散热故障维修,主板损坏更换相机。
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