扫描电镜真空规说明

扫描电镜真空系统使用多种 真空规（Vacuum Gauge） 监测各段真空：Pirani 皮拉尼规（热导式） 用于中低真空（10⁻¹–10⁻⁴ Pa），离子规（Ionization Gauge） 用于高真空（10⁻⁴–10⁻⁸ Pa），电容膜片规（Capacitance Diaphragm Gauge） 用于精确压力测量。真空规故障会导致真空误报、高压无法加、自动化流程中断。主流品牌含 Pfeiffer、Edwards、Agilent、Granville-Phillips。

适用配件（中英文对照）：Pirani 规 Pirani Gauge / 离子规 Ionization Gauge（热阴极 Hot Cathode / 冷阴极 Cold Cathode）/ 电容膜片规 Capacitance Diaphragm Gauge / 规管控制器 Gauge Controller / 规管电缆 Gauge Cable。零件编码以原厂备件手册为准。

症状一：读数漂移（Reading Drift）

故障表现：真空读数缓慢漂移、与机械表或其他规不一致。

排查流程：① 检查规管污染；② 检查灯丝状态（离子规）；③ 重新校准。

处理：清洁规管、校准，灯丝老化更换规管。

症状二：无读数（No Reading）

故障表现：控制器显示无读数、报 Sensor Fault。

排查流程：① 检查规管供电；② 检查电缆连接；③ 检查规管灯丝断路（离子规）；④ 检查控制器通道。

处理：灯丝断路需更换规管，控制器故障维修或更换。

症状三：误差大（Large Error）

故障表现：读数与真实真空偏差大（可用标准规比对），影响加高压判断。

排查流程：① 检查规管污染；② 检查气体类型设置；③ 重新校准。

处理：校准无效更换规管。

症状四：接口故障（Interface Fault）

故障表现：模拟量输出异常、通讯中断、报警误触发。

排查流程：① 检查信号线；② 检查控制器通讯设置；③ 检查接地干扰。

处理：接口损坏更换规管或控制器。

旧件回收

东莞九安仪器（JAXLAB）长期高价回收电镜真空规、规管控制器（Pfeiffer/Edwards/Agilent/G-P）等旧件，报废件、损坏件均可回收，正规估价。详情请加微信：13926808972。

公司落款

东莞九安仪器（JAXLAB）专业提供扫描电镜真空规更换、校准与旧件回收服务，适用于全品牌电镜，正规注册企业，可开具增值税专用发票，原装正品保障。故障诊断/回收估价请加微信：13926808972。